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分流箱是为了满足微电子半导体生产要求而设计的气体输送系统。通常由一路气体进气气路与若干气体出气气路组成。
这种面板具有了高性能和高纯度的特点。若配备自动控制系统，则可以自动应对气体输送过程中发生的状况，自动地监控和输送高纯危险气体。分流箱拥有现场智能监控安全状况的功能。它同样可以与更大型系统的使用点进行连接。
我们的设计目标是要开发一条可以符合客户性能，纯度，易用度，易维护度以及系统集成度需求的最优级产品线。分流箱设计简洁。每样东西都能很方便操作。许多部件都模块化设计，以方便维护。我们所实现的，就是一个易于理解，易于使用，并且易于维护的设备。 -
ITEM SIZE TYPE NOTE GN2 In 1/4” MVCR 80-100 Psig Process Vent 1/2” MVCR — — Process In 1/4” 1/2” MVCR — — Process Out 1/4” 1/2” MVCR — — Process Out 1/4” 1/2” MVCR — — LPN2 In 1/4” MVCR 80-100 Psig CDA 1/4” Swagelok 80-100 Psig Power 3/4” G 220V/1P/2A Exhaust 100mm — — 详见排风需求表
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