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排风系统
半导体行业的排风系统工程是结合行业的特殊工业要求，根据各载体化学特性，采用不同工艺、精度的排风工程，在本行业整个生产体系中成为了不可或缺的环节之一。据各工况有一般气体、腐蚀气体、可燃性气体等性质的排风需求，普遍采用镀锌螺旋、SUS304不锈钢、不锈钢特氟龙涂层等不同材质，经过材料加工生产，工程施工安装，完成系统联动，以配合整个半导体生产的工艺需求。
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