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特气系统
在目前生产工艺较为先进的半导体晶圆代工厂的制造过程中，大概需要使用50种不同种类的气体。一般把气体分为大宗气体（Bulk Gas）和特种气体（Special Gas）两种。特种气体指用量较少且有一定危害性的气体，如易燃易爆气体SiH4、PH3等。
特气系统是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。特气系统工程是用于实现特气系统安全使用的工程。一般应用在芯片半导体、微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业。
柚檬科技集团多年来专业承包设计、生产、安装、调试特气系统，对特气工艺管、二次配管安装，具有丰富的行业经验。
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柚檬科技提供从方案设计、设备采购、施工安装到维护保养的一站式服务。公司拥有一支专业的技术团队，具备丰富的经验和精湛的技术，能够为客户提供高品质、高效率的特气系统建设服务。此外，公司还注重技术创新和品质管理，能够为客户提供更加安全、可靠、环保的解决方案。
特殊气体供应流程图
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