诚信·责任·创新·共赢
大宗气输送系统
在目前生产工艺较为先进的半导体晶圆代工厂的制造过程中，大概需要使用50种不同种类的气体。一般把气体分为大宗气体（Bulk Gas）和特种气体（Special Gas）两种。大宗气体一般指集中供应及用量较大的气体，涵盖制程用气如PO2、PH2、Ar、PHe 及非制程用气CDA、GN2等。
大宗气体系统由供气系统和输送管道系统组成，其中供气系统又可细分为气源、纯化和品质监测等几个部分。通常在设计中将气源设置在独立于生产厂房(FAB)之外的气体站(GasYard)。主要适用于:Semiconductor、TFT、光伏太阳能等工厂的集中供气。
柚檬科技集团的专业技术团队能够提供各类大宗气体输送系统的安装和设计。
柚檬科技提供一站式服务
方案设计
设备生产
施工安装
维护保养
柚檬科技提供从方案设计、设备采购、施工安装到维护保养的一站式服务。公司拥有一支专业的技术团队，具备丰富的经验和精湛的技术，能够为客户提供高品质、高效率的特气系统建设服务。此外，公司还注重技术创新和品质管理，能够为客户提供更加安全、可靠、环保的解决方案。
大气体供应流程图
致力于成为卓越的气体系统集成商